更新时间：2023-07-28 访问次数：2907
KIF-FU60 、KIF-FU100和软件KIF-FSA是一套干涉条纹分析系统。主要用于通过扫描干涉条纹获取测试样本的波相位，以及显示和保存测量结果。KIF-FU60安装于KIF-20系列干涉仪上；KIF-FU100安装于4英寸的干涉仪上。
| 干涉条纹解析装置，干涉条纹解析软件 KIF-FU60/FU100，KIF-FSA：规格 | |
| 型号 | KIF-FSA |
| 解析方式 | 条纹扫描方式 |
| 测定条纹条件 | 正弦波状强度分布的干涉条纹（不支持多重干涉的干涉条纹解析） |
| 干涉条纹显示图像尺寸 | 640×470（像素） |
| 再现性 | PV值：0.01λ（2σ）以下 RMS值：0.003λ（2σ）以下 |
| 解析功能 | PV、Rms、Pwr、As、Coma、Sa3以及Zernike系数的解析与显示 |
| 合格判断功能 | PV、Rms、Pwr、As、Coma、Sa3等的规格值设定与合格与否的显示 |
| 3轴压电载物台冲程（选配件） | 粗动：±3 mm（XYZ的各轴） 微动：12 μm（XYZ的各轴） |
| 使用环境 | 水平无震动的场所（地面震动±0.8/s²以下） 温度：23±3 °C 湿度：60%以下、无结露 |
* 因测定时的设置环境不同，可能发生机械性能不能充分发挥的情况。
* 本装置不保证溯源体系中的精度。
工作参数设定功能
・ 产品名、单元名、注释
・ Fitting次数（3/4/9/16/25/36）
・ 像差清除（像差／Zernike系数）
・ 显示单位（λ、μm、nm、条纹）
・ 对Zernike系数的offset设定
・ 规格值（各像差以及用户定义式）
解析结果显示功能
・ P-V、RMS、Pwr
・ 赛德尔像差（倾斜、焦点、像差AS、彗差、球面像差）
・ Zernike系数（3、4、9、16、25、36项）
・ 3维鸟瞰图、2维彩图
・ 横切面侧面像（X、Y方向、PV、RMS）
・ 合格判断结果
文件输入输出功能
・ 工作参数的保存和读取
・ 条纹数据的保存和读取
・ 影面数据的保存和读取
・ 画面版面的保存和读取
・ 主窗口打印
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