干涉条纹解析装置,干涉条纹解析软件 KIF-FU60/FU100,KIF-FSA:规格 | |
型号 | KIF-FSA |
解析方式 | 条纹扫描方式 |
测定条纹条件 | 正弦波状强度分布的干涉条纹(不支持多重干涉的干涉条纹解析) |
干涉条纹显示图像尺寸 | 640×470(像素) |
再现性 | PV值:0.01λ(2σ)以下 RMS值:0.003λ(2σ)以下 |
解析功能 | PV、Rms、Pwr、As、Coma、Sa3以及Zernike系数的解析与显示 |
合格判断功能 | PV、Rms、Pwr、As、Coma、Sa3等的规格值设定与合格与否的显示 |
3轴压电载物台冲程(选配件) | 粗动:±3 mm(XYZ的各轴) 微动:12 μm(XYZ的各轴) |
使用环境 | 水平无震动的场所(地面震动±0.8/s²以下) 温度:23±3 °C 湿度:60%以下、无结露 |
* 因测定时的设置环境不同,可能发生机械性能不能充分发挥的情况。
* 本装置不保证溯源体系中的精度。
工作参数设定功能
・ 产品名、单元名、注释
・ Fitting次数(3/4/9/16/25/36)
・ 像差清除(像差/Zernike系数)
・ 显示单位(λ、μm、nm、条纹)
・ 对Zernike系数的offset设定
・ 规格值(各像差以及用户定义式)
解析结果显示功能
・ P-V、RMS、Pwr
・ 赛德尔像差(倾斜、焦点、像差AS、彗差、球面像差)
・ Zernike系数(3、4、9、16、25、36项)
・ 3维鸟瞰图、2维彩图
・ 横切面侧面像(X、Y方向、PV、RMS)
・ 合格判断结果
文件输入输出功能
・ 工作参数的保存和读取
・ 条纹数据的保存和读取
・ 影面数据的保存和读取
・ 画面版面的保存和读取
・ 主窗口打印
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